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光学仪器专家
运动控制 Motion Control

精密紧凑型电动线性位移台

VP-25X 系列采用紧凑型封装铝制机身,具有25mm行程、出色的MIM和位置稳定性。类似于其他系列的线性位移台,VP-25X 还具有循环滚珠轴承、无侧隙滚珠丝杠和线性钢尺。应用包括:光纤对准、生物医学、半导体以及高精度测试和测量。

易于进行 XY 和 XYZ 配置
灵敏度高,10 nm 最小增量运动
厚度薄、结构紧凑且重量轻
便捷的手动调节旋钮
内置线性编码器,可实现高度可重复且精确的运动
即插即用 - ESP 兼容

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直流电动机的最大特点是速度快,运动平稳,效率高,功率/重量比高。 这些VP级的精确闭环伺服定位和速度控制是通过内置的线性编码器和转速表实现的。 手动调节旋钮还增加了这些位移台的实用性。

型号

VP-25XA

VP-25XA-XYZR

VP-25XL

VP-25XL-XYZR

电动轴

X

XYZ

X

XYZ

行程范围

25mm

最大速度

25mm/s

最大位移增量

100nm

中心负载

60N

轴向负载(+Cx)

40N

逆轴向负载(-Cx)

-40N

精度,典型值

±0.4μm

±0.5μm

精度,保证值

±1.0μm

双向重复精度,典型值

±0.06μm

±0.05μm

双向重复精度,保证值

±0.10μm

±0.07μm

俯仰,典型值

±22μrad

±20μrad

俯仰,典型值

±50μrad

俯仰顺应性

20μrad/Nm

偏摆,典型值

±17μrad

±20μrad

偏摆,保证值

±50μrad

偏摆顺应性

30μrad/Nm

电缆长度

1.5m

3m

螺纹类型

8-32、1/4-20

重量

1.5kg

5kg

MLT系列薄型高精度直线电机位移台

MLT系列紧凑、薄型、高精度线性平台将XM系列的超精密性能与紧凑型VP系列线性平台相结合。 这些平台展示了MKS在用于各种工业应用的精密平台设计方面的最新创新和专业知识,同时在与MKS运动控制器一起使用时保持运动产品预期的短设置。
MLT平台非常适合半导体、工业或研究市场中的典型扫描或点对点应用,用于计量、传感器测试和校准、对准和取放组装。

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可靠的设计
每个 MLT 平台的底座均采用高强度铝合金制成,采用有限元法 (FEM) 进行了优化,以获得最高的刚性和最佳的热性能。 添加了长寿命和高负载交叉滚子轴承、大推力直线电机和高精度直线编码器等精选组件,不仅考虑到性能,而且考虑到可靠性。 内置限位开关可防止超程和碰撞。进行了大量测试以确保MLT的高可靠性性能。

即插即用 ESP 兼容
MLT与支持即插即用ESP技术的XPS系列标准MKS控制器兼容,无需复杂的驱动程序配置,即可轻松启动。(注意,对于XY配置,需要手动设置参数。)

型号

MLT25

MLT50

MLT100

MLT200

MLT250

行程范围

25mm

50mm

100mm

200mm

250mm

最大速度

50mm/s

最大位移增量

5nm

最大持续力

3N

中心负载

50N

70N

精度,保证值

±0.3μm

±0.6μm

±1.25μm

±2.5μm

±3μm

双向重复精度,保证值

±0.15μm

典型平面度

±1μm

±2μm

±3μm

±5μm

±10μm

直线度,保证值

±1μm

±2μm

±3μm

±5μm

±5μm

俯仰,保证值

±50μrad

±75μrad

±75μrad

±150μrad

±200μrad

偏摆,保证值

±50μrad

±75μrad

±75μrad

±125μrad

±150μrad

驱动方式

linear motor

螺纹类型

M4

重量

1.5kg

1.7kg

2.1kg

3.1kg

3.6kg

MTBF

20,000h(25% load,30% duty cycle)

紧凑哥特式曲拱轴承Picomotor线性平移台

Picomotor线性平移台行程5cm,平台尺寸为25x25 mm,Tiny Picomotor促动器与紧凑哥特式曲拱轴承平移台相结合,可以实现极高的稳定性和刚性以及远程控制操作。

分辨率 < 30 nm
哥特式曲拱轴承可用于要求苛刻的应用
超紧凑电动和手动轴配置
真正具有一劳永逸的长期稳定性
控制器和驱动器灵活、易于使用

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